Semiconductor measurement technology, ARPA/NBS workshop IV Gaithersburg, 1975 : surface analysis for silicon devices
- Författare
- (A. George Lieberman ed..)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1976 | USA, Washington | 239 sidor. diagr., ill., tab. |